用語集
Keywords

最大基板サイズ: スピンコーターで塗工することが可能な最大の試料（ワーク）サイズです。
※ あくまで推奨するサイズですので若干大きいサイズでも可能な場合があります。詳細につきましてはお問合せください。
回転数（rpm）: スピンコーターで塗工する際に設定可能な最大回転数です。単位は、rpm (revolutions per minuteまたはrotations per minute)、つまり1分間に何回転するかという意味です。
回転精度: スピンコーターで塗工する際に設定した回転数に対しての実速度との誤差精度の値となります。
表記例）回転精度：±0.2%(3,000[rpm]時) 　その場合、回転数3,000[rpm]で動作させた時に実際の動作の回転数は±6[rpm](=3,000×0.002)となります。
モーター: スピンコーターにおけるワークを回転させるために使用される駆動部品です。
蓋: スピンコーターにおける塗工液及びワークの飛散防止と回転物への接触防止のための部品です。
治具（試料台）: スピンコーターにおける試料（ワーク）をセットするための台座です。
治具（試料台）材質: スピンコーターで塗工する際に使用する試料台は、一般的には軽い材質が選ばれ、アルミやポリアセタール樹脂などが挙げられます。また、耐薬品性の高い材質には、テフロン®やPEEK等があります。
テフロン®は、米国デュポン社の登録商標です。
タフラム処理: TUFRAM®（タフラム®）とはアルミ系の材質に対する表面処理の一種で、アルマイト処理とフッ素樹脂コーティング処理を併せ持ち、耐薬品性に優れています。
TUFRAM®/タフラム®は、米国 GENERAL MAGNAPLATE CORP.社の登録商標です。
カップ、受け皿、スピン室、チャンバー: スピンコーターにおける塗工後の液を受ける容器です。メーカによって名称は様々で、カップ・受け皿・スピン室、チャンバー等があります。主に取外し可能なものが多く、塗工後の清掃が楽になります。
カップ内テフロンコーティング: スピンコートによる塗工に使用する塗工液が腐食性のある液の場合、腐食しないようにするためにテフロンをコーティングして耐薬品性を向上させた試料台やカップを使用する必要があります。
ワークの重量: スピンコーティングに使用する試料（ワーク）の重量のことです。重量が重いワークではスピンの回転中心からワークの重心がズレている場合、塗工処理中にワークが飛散する可能性があるため注意が必要になります。
試料固定：真空吸着法: スピンコーターでの塗工処理中にワークが飛散しないようワークを固定する方法として真空吸着法を用いるのが一般的です。その利点はワークへのダメージが少なく、欠点は平坦なワークに限定されることです。
真空ポンプ: スピンコーターにおけるワークを固定するための真空引きに使用するポンプです。本体装置とは別に真空ポンプを用意し、配管接続することが一般的です。
基板吸着圧力: スピンコーターにおける基板吸着圧力[Pa(kPa)]とは、試料台に設置した試料（ワーク）に対しての真空吸着する圧力を指します。また、試料台に対し、ワークの接地面が広いほど吸着力は強く、狭いほど弱まります(真空ポンプ仕様の到達圧力に近づきます)。
真空ポンプ配管ノズル: 真空ポンプからの配管を本体装置に接続するための配管部です。
ステップ数: スピンコーティングにおける回転動作を段階的に変化させることができる回数です。ステップ数が多いほどより複雑な動作が可能となります。スピンコーティングでは必要となる工程を満たすため、最低でも2ステップが必要で 3ステップあれば、ほぼ目的とする塗工が可能となります。
タイマー・時間設定: スピンコーターにおけるタイマー・時間設定とは、各ステップの回転時間の設定のことです。
安全対策（インターロック）: スピンコーターにおける安全対策（インターロック）とは、主に装置を扱う上で操作側に危険が生じないようにするための安全機構のことです。一般的には装置の蓋を開いたときにスピン動作を停止させたり、ドアロックをすることでスピン動作中は蓋が開かないようにして安全な状態を維持する等の機能を備えることが可能です。
排気機能: スピンコーターにおける装置内の排気機能を指します。塗工液の揮発成分がチャンバー内に充満することを避けたり、装置内の温度上昇を抑制するために備わっています。
キープ時間: スピンコーティング処理における塗工時の塗れ広がり、乾燥工程で任意の時間を設定するための時間設定を指します。

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