Φ200mmに対応した上位モデル。
回転数もMAX6,000rpm、対応サイズもΦ200mm。
各基材サイズに応じた試料台(治具)を用意すればこれ一台でカバー出来る装置です。
型式 | ASC 200Ⅱ |
最大可能処理サイズ | Φ8インチ(Φ200mm)、□150mm |
回転数 |
100~6,000rpm |
回転精度 | ±0.2%/3,000rpm |
カップ(内径) | 内径Φ380mm |
カップ材質 | SUS製 |
モーター | 75W |
試料固定 | 真空吸着法 |
ステップ数 | 3ステップ |
プログラム数 | 1プログラム |
表示パネル(タイマー) | 0~999sec |
表示パネル(回転数) | 回転計4桁 |
試料台材質 | アルミ、テフロン等 |
廃液 | カップ止め |
真空チャック安全機構 | あり |
真空ポンプ | 附属 |
外形寸法(mm) ※蓋閉時 | W520×D520625×H245 |
装置重量 ※真空ポンプを除く | 約35kg |
電源 | AC100V 7A |