その他オプション
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膜厚測定に特化していた反射分光式の膜厚計です。初めての方でも簡単に操作できます。ソフトウェアインストール済みPCも最初からセット済み為、届いたその日からご利用いただけます。

膜厚測定範囲

低圧水銀ランプから発せられる184.9nmと253.7nmの紫外線により、有機物の除去と表面の改質が行われます。スピンコーティング前の濡れ性向上や接着性向上に最適なR&D用小型装置から生産用装置、その他評価装置やオゾン分解装置などの付随品までを一通りご提供いたします。

172nmを主波長としたエキシマ照射ユニットとスキャン用ステージ、オゾン分解装置を一体化し、100Vの電源のみで、簡単にかつ安全にエキシマ表面改質の実験が出来る装置です。

【特徴】

スキャン用ステージにより従来より大面積の処理が可能。

オゾン分解装置一体型で、排気設備などが不要。

型式：PS150

＜本体＞　W530×D400×H150（㎜）約15㎏　

＜ポンプ＞W180×D334×H156（㎜）約9.5㎏

真空到達時間：30秒以内

チャンバーサイズ

W150×D150×H35（㎜）

定格電圧：AC100V

紫外線硬化は、ランプより放出される紫外線（250nm～450nm）の照射を行う事により、紫外線硬化性の樹脂・接着剤・塗料・レジスト等が瞬時に光重合反応をおこし硬化する技術です。これらの紫外線硬化技術は、従来の熱乾燥などと比較すると「硬化・乾燥」までに至る時間が圧倒的に短く、溶剤等の使用量が飛躍的に削減される為、「省エネ」「省スペース」「環境面」に於いてその特性を発揮します。